한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

  • 제6권5호
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  • Pages.449-456
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  • 1996
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  • 1225-0562(pISSN)
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  • 2287-7258(eISSN)
한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Sol-Gel 법에 의한 BST 강유전 박막의 합성과 유전 특성

Fabrication of $Ba_xSr_{1-x}TiO_3$(BST) Thin Films by Sol-Gel Method and their Dielectric Properties

  • 장수익 (포항공과대학교 재료공학과) ;
  • 최병철 (포항공과대학교 재료공학과) ;
  • 장현명 (포항공과대학교 재료공학과)
  • 발행 : 1996.05.01
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초록

BaO, SrCI2.6H2O 그리고 Ti(OPri)4를 출발 원료로 사용하여 균일한 BaxSr1-xTiO3(BST) 솔을 합성하였고, BST 박막을 회전 코팅 법으로 Si 및 Pt/Ti/SiO2/Si 기판위에 제조하였다. 적외선 및 NMR 스펙트럼 분석으로 킬레이션 조제로 사용한 acetylacetone(AcAc)이 엔올 형태로 Ti-알콕사이드와 결합하여 솔 안정화에 기여함을 확인하였다. Xedrogel에 대한 DT/TGA 및 적외선 스펙트럼 결과로부터 페로브스카이트 상생성이 $600^{\circ}C$ 이상에서 이루어짐을 관찰하였다. $700^{\circ}C$에서 열처리한 박마은 -300(10 KHz)의 상대유전율을 나타내었고, 결정립의 저항 및 입계의 병렬 RC 성분으로 등가회로를 구성할 수 있었다.

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