초록
열진공증착 방법으로 제작한 Ag/Co 다층박막의 구조, 자성 및 자기저항에 관하여 연구하였다. Ag층의 두께가 $60{\AA}$ 정도로 두꺼울 때는 Co 두께가 $5{\AA}$에서도 비교적 균일한 다층막의 형태를 이루어서 대부분의 Co층이 강자성의 성질을 가지나 Ag층의 두께가 $30{\AA}$으로 얇고 Co가 $15{\AA}$ 이하일 경우에는 Co층이 섬형화된 불연속 다층박막이 형성되어 섬형화된 많은 부분의 Co가 초상자성 성질을 가졌다. 또한 열처리에 의하여 Co의 섬형화가 진전되어 MR비가 증가 되었다. $3000{\AA}$ 두께의 $Ag30{\AA}/Co10{\AA}$ 불연속 다층박막에서 최대 6.1%의 자기저항비를 얻었으며 SiO를 하지층으로 입힐 경우 $1000{\AA}$ 다층박막에서 층상 구조의 개선으로 반강자성 결합 및 자기저항비가 증가되었다.
The structural, magnetic and magnetoresistance properties of Co/Ag multilayer films prepared by thermal coevaporation were studied. When the Ag layer was $60{\AA}$ thick, the Co layer behaved ferromagnetically even with the thickness of $5{\AA}$. However, when the thickness of Ag layer was $30{\AA}$ and that of Co layer was less than $15{\AA}$ thick, the Co layer became discontinuous and the islands of Co behaved mostly superpararnagnetically. The maximum MR ratio, 6.1% was obtained in the $3000{\AA}\;Ag30{\AA}/Co10{\AA}$ Ag30 A ICo 10 A discontinuous multilayer. Agglomeration of the Co layer was promoted by annealing and hence MR ratio increased when the thickness of Ag layer was thinner than $15{\AA}$. The SiO underlayer enhanced the MR ratio in the $1000{\AA}$ thick multilayer via the layer structure improvement.
