초록
ZnS/ZnSe 초격자가 열벽적층성장에 의하여 GaAs(100) 기판 위에 성장되었으며 그 구조가 x-선 회절에 의하여 분석되었다. 변형된 초격자의 x-선 회절은 각 층의 두께, 변형, 상호확산 그리고 초격자 주기의 변동에 대한 유용한 정보를 제공한다. S와 Se의 상호확산의 길이는 $2\;{\AA}$ 이하인 것으로 추정된다.
ZnS/ZnSe superlattices were prepared on GaAs (100) substrates by hot wall epitaxy, an the structures were analyzed using x-ray diffraction. It is shown that the x-ray diffraction of the strained superlattice gives very useful information about the thickness of each layer, strain, interdiffusion, and the fluctuation of the superlattice period. Interdiffusion length of the S and Se is estimated to be less than $2\;{\AA}$.