Development and Application of Photoacoustic Microscope using Accelerometer

가속도센서를 이용한 광음향현미경의 제작과 응용

  • Kim, D.H. (Korea Research Institute of Standards and Science, Materials Evaluation Center) ;
  • Kwon, Oh-Yang (Korea Research Institute of Standards and Science, Materials Evaluation Center)
  • 김달현 (한국표준과학연구원 소재특성평가센터) ;
  • 권오양 (한국표준과학연구원 소재특성평가센터)
  • Published : 1995.03.18

Abstract

A two-dimensional photoacoustic microscope utilizing photoacoustic signals generated by periodic heating of specimen surface with Argon ion laser and measured by accelerometer has been developed. Several aluminum specimens with various defects have been examined, characteristics of the microscope have been evaluated and optimal experimental conditions have been determined by examining the dependence on several experimental conditions including the modulation frequency and the beam width of laser.

아르곤 이온 레이저를 광원으로 시편을 주기적으로 가열하여 광음향신호를 발생시키고 가속도 센서로 측정하는 2차원 광음향 현미경을 제작하였다. 다양한 결함을 가진 알루미늄 시편을 검사하고 광음향현미경의 특성을 조사하였으며 변조주파수, 레이저광의 단면적 등 실험 조건에 대한 의존성을 조사하여 적절한 실험조건을 확립하였다.

Keywords