Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 4 Issue 4
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- Pages.373-379
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- 1995
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- 1225-8822(pISSN)
Spectro-ellipsometric Analysis of SIMOX Structures
분광 타원해석법에 의한 SIMOX 층구조 분석
Abstract
200keV의 에너지로 산소 이온들을 주입한 후 열처리하여 만든 SIMOX의 층구조를 분광 타원해석법을 이용하여 비파괴적으로 분석하여, 약
Keywords