Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 4 Issue 3
- /
- Pages.319-326
- /
- 1995
- /
- 1225-8822(pISSN)
The Formation of Epitaxial PtSi Films on Si(100) by Solid Phase Epitaxy
고상 에피택셜 성장에 의한 PtSi 박막의 형성
Abstract
초고진공에서 Si(100)-2X1 기판 위에 Pt를 약 100
Keywords