한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)
- 제4권1호
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- Pages.26-31
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- 1995
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- 1225-8822(pISSN)
Ion Beam Mixing에 의한 Co/Si 계의 상 형성 및 전이에 관한 연구
A Study on the Phase Formation and Sequence in Co/Si System during Ion Beam Mixing
초록
본 연구에서는 Co/Si 계에 대한 이온선 혼합실험을 온도와 이온선량을 변수로 하여 실시하였고, Co/Si 계에 대한 상형성 과정을 금속/Si 계에 대한 이온선 혼합시의 비정질상 및 결정상 형성예측 모델(ADF Model)과 초기 결정상 예측 모델(PDF Model)을 이용하여 해석하였다. 이온선 혼합은 80KeV 가속기를 이용하여 상온
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