E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제8권4호
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- Pages.464-471
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- 1995
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
분석전자현미경용 다층박막 디스크의 시편준비법
TEM sample preparation of thin film multilayer disks for analytical electron microscopy
초록
메그네트론 스퍼터링으로 제작한 고밀도 다층박막(
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