마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제2권2호
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- Pages.9-18
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- 1995
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
증착공정 변수 및 열처리에 따른 ITO박막의 전기적, 광학적 특성
Electrical and Optical Properties of ITO Films with Sputtering Parameters and Annealing Treatments
초록
LCD의 투명전극으로 사용되는 ITO박막의 반응성 스퍼터링 공정변수 및 열처리에 따른 저기적 특성과 광학적 특성의 변화에 대하여 연구하였다. 90wt% In-10wt% Sn 합금 타겉을 사용한 반응성 스퍼터링으로는 LCD의 투명전극으로 사용하기 위한 100~300
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