한국표면공학회지 (Journal of the Korean institute of surface engineering)
- 제27권2호
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- Pages.65-73
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- 1994
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- 1225-8024(pISSN)
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- 2288-8403(eISSN)
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Li$_2$ O-B$_2$ O$_3$ -SiO$_2$ 계 비정질 박막 고체전해질의 증착변수에 따른 이온전도 특성에 관한 연구
Effect of Deposition Parameter on Ionic Conductivity of RF Magnetron Sputtered Li$_2$ O-B$_2$ O$_3$ -SiO$_2$ Solid Electroiyte Films
초록
Effects of deposition parameter on the ionic conductivity and structural change of the Lithium borosili-cate solid electrolyte films, prepared by rf sputtering using 7
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