Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Construction of Ultra High Vacuum Scanning Tunneling Microscope

초고진공 Scanning Tunneling Microscope의 제작

  • Son, Eun-Sook (Department of Physics, Jeonbug National University) ;
  • Hong, Yeong-Kyu (Department of Physics, Jeonbug National University) ;
  • Park, Chan (Department of Physics, Jeonbug National University)
  • 손은숙 (전북대학교 자연대 물리학과) ;
  • 홍영규 (전북대학교 자연대 물리학과) ;
  • 박찬 (전북대학교 자연대 물리학과)
  • Published : 1994.12.01
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Abstract

초고진공(UHV) Scanning Tummeling Microscopy(STM)을 제작하였다. 8인치 프란지에 부착한 STM은 초고진공에서 시료의 통전가열이 가능하며 다른 표면 측정방법의 적용과시료처리가 용이하다. 외부로부터 초고진공을 깨지 않고 시료와 tip의 도입이 가능하며 tip을 가열할 수 있다. 완성된 장치로 Si(111)-7$\times$7 구조의 STM상을 얻었다.

Keywords