Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 3 Issue 2
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- Pages.190-197
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- 1994
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- 1225-8822(pISSN)
A Study on the Reistivity and Temperature Coefficient of Resistivity of Stacked $TaN_x$ /Cr Cermet Thin Film
$TaN_x$ /Cr Cermet 적층 박막의 비저항 및 저항온도계수에 관한 연구
Abstract
본 연구에서는 DC magnetron 스퍼터링법을 이용하여 고정밀, 고저항 저항체 박막으로 TaNx film을 제조하였을 때 형성될 수 있는 화합물 중 TaN0.1, TaN0.8과 TaN 박막의 Rs와 TCR특성을 평가하 고 film층의 우선방향성을 XRD를 이용하여 판명한 뒤 저항체의 Rs와 TCR에 미치는 영향을 조사하였 다. TaN0.1 박막이 35
Keywords