Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

Volume 3 Issue 1
/
Pages.26-32
/
1994
/
1225-8822(pISSN)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Characteristics of TiN/$TiSi_2$ Bilayer by RTN

RTN에 의해 형성된 TIN/$TiSi_2$ Bilayer의 특성

이석형 (한양대학교 금속공학과) ;
김헌도 (현대전자 반도체연구소) ;
박종완 (한양대학교 금속공학과)

Published : 1994.03.01

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Abstract

Keywords