The Proceedings of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers (한국조명전기설비학회지:조명전기설비)
- Volume 8 Issue 4
- /
- Pages.17-21
- /
- 1994
- /
- 1225-1135(pISSN)
A Study on the Instrument Measuring Microscopic Movements using a LASER Light Source
레이저 광원을 이용한 극미세 진동 특정장치에 관한 연구
Abstract
레이저 광원을 사용하여 정현적으로 극미세 진동하는 압전소자에 부착된 거울을 대상으로 마이켈슨 간섭계로 부터의 간섭신호를 감지해 변위의 크기와 주파수를 측정할 수 있는 진동측정 방법과 장치를 제시한다. 약 80[nm]~1.2[
Keywords