Abstract
This paper is aimed to study the effect of Pd activator, the annealing temperature, and operating temperatures on the response characteristics of the $SnO_2/Al_2O_3$ sensor. The resistance of device has shown minimum value when annealing temperature and operating temperature of device are $550^{\circ}C$ and $350^{\circ}C$ respectively in ethanol gas. And the response characteristics of the device showed the best results when lwt% Pd was added to SnOz especially in low concentration of ethanol gas.
이 논문은 $SnO_2$에 소량의 Pd를 첨가하여 이것을 $Al_2O_3$기판위에 진공증착시켜 가스소자를 제작한 후, 소자의 감지특성에 영향을 미치는 열처리 온도, 소자의 온도, Pd의 첨가량의 변화 효과를 조사한 것이다. 소자의 열처리 온도가 $550^{\circ}C$일때와 소자의 동작온도가 $350^{\circ}C$일때 ethanol gas에 접촉시 소자 저항이 가장 낮았다. Pd 1 wt%를 첨가한 경우 에탄올 가스에 대한 소자의 감지특성이 가장 양호하였으며, 저농도 영역에서 특히 우수하였다.