Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology (한국결정성장학회지)

The Korea Association of Crystal Growth (한국결정성장학회)
권호 표지

Properties of fluorine-doped $SnO_2$ films prepared by the ultrasonic spray deposition

초음파분무법에 의해 제작된 $SnO_2(:F)$ 박막의 특성

  • Byung Seok Yu (Technical Research Institute, Hankuk Glass Ind., Inc., Inchon 402-130, Korea) ;
  • Sei Woong Yoo (Technical Research Institute, Hankuk Glass Ind., Inc., Inchon 402-130, Korea) ;
  • Jeong Hoon Lee (Technical Research Institute, Hankuk Glass Ind., Inc., Inchon 402-130, Korea)
  • Published : 1994.09.01
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Abstract

The influence of deposition parameter on the electrical, optical andsurface morphology of $SnO_2(:F)$ films prepared by ultrasonic spray deposition using DBDA and $SnCl_4.5H_2O$ as a source material was studied. Resistivity was decreased sharply with increasing F/Sn ratio in solution up to 0.6. Depending on the source material, $SnCl_4.5H_2O$ shows lower resistivity than DBDA. When F/Sn ratio in solution was 1, optical transmittance was higher DBDA than $SnCl_4.5H_2O$.

초음파 분무법에 의한 $SnO_2(:F)$박막의 제막시 DBDA와 $SnCl_4.5H_2O$를 출발물질로 사용하은 경우 제막조건이 전기적, 광학적 그리고 표면형상 드의 특성에 미치는 영향에 대해 조사하였다. 박막의 비저항은 출발물질에 관계없이 용액내의 F/Sn의 비가 0.6일 때까지는 급격히 증가하였으며, $SnO_2.5H_2O$를 출발물질로 사용한 경우 DBDA의 경우보다 낮았다. 용액내의 F/Sn의 비가 1일 때 출발물질로서, $SnO_2.5H_2O$과 DBDA를 사용한 경우 광투과율은 각각 83%와 85%로서 DBDA 사용한 경우가 다소 높았다.

Keywords