Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology (한국결정성장학회지)

The Korea Association of Crystal Growth (한국결정성장학회)
권호 표지

$LiTaO_3$ single crystals growth for SAW device application

표면탄성파 소자 응용을 위한 $LiTaO_3$ 단결정 성장

  • Chung, D.S. (Ceramics Devision, RIST) ;
  • Roh, Y.R. (Ceramics Devision, RIST) ;
  • Park, B.H. (Ceramics Devision, RIST) ;
  • Kim, Y.S. (RIST/POSTECH)
  • 정대식 (산업과학기술연구소, 무기재료연구분야) ;
  • 노용래 (산업과학기술연구소, 무기재료연구분야) ;
  • 박병학 (산업과학기술연구소, 무기재료연구분야) ;
  • 김유성 (산업과학기술연구소 신소재부문/포항공과대학 재료공학과)
  • Published : 1994.06.01
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Abstract

$LiTaO_3 (LT)$ single crystals (Y, X-axis) were grown from the congruent composition, 48.65 mole %, $Li_2O$ for SAW (Surface Acoustic Wave) applications. Basic SAW filters were fabricated on the RIST prepared LT wafers (Y-cut) using phtolithography. SAW filter performance was evaluated. The results were compared of the SAW characteristics between RIST prepared LT wafer (Y-cut) and commercial Yamaju wafer (Y-cut). The SAW filter prepared on the RIST grown LT wafer was shown better SAW performances than that of Yamaju wafer.

표면탄성파 소자응요을 위하여 완전용융조성, 48.65 mole % $Li_2O에서 LiTaO_3(LT)$ 단결정(Y, X-axis)을 육성하였다. 육성된 $LiTaO_3(LT)$ 단결정의 SAW 소자성능을 확인하기 위하여 photolithography를 거쳐 기본적인 SAW filter를 제작하였다. Yamaju LT Y-cut 단결정 기판과 본 연구에서 제작된 RIST LT Y-cut 단결정 기판에서의 SAW특성결과를 비교하여 성능을 결정하였다. Yamaju LT 기판에서보다 본 연구에서 육성된 LT 단결정 기판에서 우수한 SAW 성능을 보였다.

Keywords