Abstract
Superrsolution of an optical imaging system, which resolves $\epsilon_O$ (half width of the square top amplitude impulse function) less than the Rayleigh's resolution limit $\epsilon_R$, is theoretically treated by using the diffraction theory, and an experimental system is proposed. Initially superresolution is stated as an inverse problem, and an integral equation is derived as a function of parameter $\beta$, which is positive. The integration is numerically carried out for the given aperture and those given values of $\beta$, which is 1, 5, 10, 15, and 20. 1/2$\times$FWHM's of the amplitude impulse functions are meassured for the cases of diffrent value of {J and in the case of $\beta=5$, the half-width already approaches to $\epsilon_O=0.1$,urn, which is, in the case of the present work, one fifth of the Rayleigh's resolution limit. It is found both the pupil function and the phase of the Huygens wave are to be modified, and theories of the pupil function modulation plate and the phase modulation hologram plate are also presented. The result obtained may be useful in ultrafine optical lithography.graphy.
Rayleigh의 분해능 한계 $\epsilon_R$보다 작은 선폭 $\epsilon_0$을 분해할 수 있는 광결상계사 이론적으로 취급되었고, 이어서 초분해능을 지니는 광학계가 제시되었다. 먼저 초분해능을 역변환 문제로 취급하여 초분해능 회절상의 진폭 임펄스 함수를 주는 적분방정식을 도입하고 매개변수 $\beta$(양정수)에 따라서 진폭 임펄스 함수의 반치폭이 조사되었다. 이 초분해능 광학계의 구경함수의 진폭 분포가 변조되었고 또 구경에서 나가는 Huygens 파동의 위상도 Holography로 변조되었다. 이들의 변조를 위하여 이용된 광변조 소자가 제시되었다. 초미세 광리소그라피에 유용한 결론을 얻었다.