Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

The Design and Construction of AES-LEED System and the Study of Ni/Pt(111) System

AES-LEED 장치의 설계 및 제작과 Ni/Pt(111)계에 관한 연구

  • Lee, Sun-Bo (Department of Chemistry, Sung Kyun Kwan University) ;
  • Bu, Jin-Hyo (Department of Chemistry, Sung Kyun Kwan University) ;
  • Lee, Seong-Yong (Department of Chemistry, Sung Kyun Kwan University) ;
  • Park, Jong-Yun (Department of Physics, Sung kyun Kwan University) ;
  • Gwak, Hyeon-Tae (Department of Chemical Education, Kuk Min University)
  • 이순보 (성균관대학교 이과대학 화학과) ;
  • 부진효 (성균관대학교 이과대학 화학과) ;
  • 이성용 (성균관대학교 이과대학 화학과) ;
  • 박종윤 (성균관대학교 이과대학 물리학과) ;
  • 곽현태 (국민대학교 사범대학 화학교육과)
  • Published : 1993.06.01
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Abstract

Ultra High Vacuum chamber for surface analysis and a series of AES-LEED controllers for LEED optics was designed and constructed. Electron energy resolution of LEED optics was tested. On the basis of the layer by layer mode, thickness of evaporated Ni on Pt(111) was calculated from the Auger signal ratio.

본 연구에서는 표면 분석 장비에 필요한 초고진공 용기를 설계 제작하였으며, LEED optics를 이용한 AES와 LEED 제어 장비를 설계하여 제작하였다. 제작된 일련의 장비들을 이용하여 LEED optics의 전자에너지 분해능을 측정하고, Pt(111) 표면에 증착된 Ni의 성장양식을 단분자층과 단분자층의 형성모델을 가정하여 증착된 Ni의 두께를 Auger signal의 비로부터 구하였다.

Keywords