Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

A Design of Transferable Sample Holder for Resistive Heating and Conductive Cooling

통전가열과 접촉냉각이 가능한 교환시료 고정장치의 고안

  • Seo, J. M. (Department of Physics, Jeonbuk National University) ;
  • Kim, K. J. (Department of Physics, Jeonbuk National University) ;
  • Ihn, S. (Department of Physics, Jeonbuk National University) ;
  • Koo, S. J. (Department of Physics, Jeonbuk National University) ;
  • Park, Ch. (Department of Physics, Jeonbuk National University) ;
  • Kim, Y. K. (Department of Physics, Jeonbuk National University)
  • 서재명 (전북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 김기정 (전북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 임삼호 (전북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 구세정 (전북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 박찬 (전북대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 김영기 (전북대학교 자연과학대학 물리학과)
  • Published : 1993.09.01
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Abstract

통전가열, 접촉냉각, 전기적 bias 및 시료 교환을 자유로이 할 수 있는 다기능의 새롭고 간단한 시료 고정장치를 저온 및 초고진공 상태에서 기체와 여러 방향의 시료표면 사이의 상호작용을 연구하기 위하여 고안하였다. 이 장치로써 2분 이내에 기판의 온도를 1600K에서 20K로 2분 이내에 냉각시킬 수 있었다. 그러므로 청결한 표면위에 수소나 He이나 Ne을 제외하고는 대부분의 기체를 흡착시킬 수 있게 되었다. 이러한 장치는 표면에서의 상변화, 기체와 표면의 화학반응의 연구에 중요하게 활용될 수 있다.

Keywords