LB 절연박막을 사용한 전기전자산업용 MIM소자의 발생기전력

Generated Electromotive Force of MIM Element for Electrical and Electronics Industrial using LB Insulating Thin Film

  • 국상훈 (정회원, 조선대학교 공과대학 전기공학과·공박) ;
  • 서장수 (정회원, 송원전문대학 전기과) ;
  • 발행 : 1993.06.01

초록

전기전자산업에 유기분자집합체에 대한 전자 device적 기능을 갖게 하는 초전막형성 기술의 하나로서 LB막이 이용되게 된다. 10여년전에 만들어 대기중에 방치되었던 Langmuir Blodgett(LB) 초전막 시료에 대해서 MIM구조소자에 전하가 발생하는 특성을 검토하였다.그 결과 LB막이 무극성일 때는 상하부전극을 동일 금속으로 하면 전압이 발생하지 않고, 서로 다른 금속전극으로 할 때는 전압이 발생하였는데 양전극금속의 일함수값의 차가 클수록 발생전압이 높았고 LB막이 유극성일때는 동일 전극이라도 전압이 발생하였다.따라서 LB초전막의 MIM 소자에서 발생하는 전하는 단순한 화학작용에 의한 것이 아니고양전극 금속의 일함수와 극성에 관계가 있다고 생각된다.

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