E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제6권4호
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- Pages.330-338
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- 1993
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
Short channel SNOSFET EEPROM의 제작과 특성에 관한 연구
A study on fabrecation and characteristics of short channel SNOSFET EEPROM
초록
Channel의 폭과 길이가 15 x 15.mu.m, 15 x 1.5.mu.m, 1.9 x 1.7.mu.m인 비휘발성 SNOSFET EEPROM 기억소자를 CMOS 1 Mbit 설계규칙에 의하여 제작하고 체널크기에 따른
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