펄스레이저를 이용한 박막 증착

  • 발행 : 1993.06.01

초록

본 특집에서는 PLD장착 및 증착 방법을 2장에서는 소개하고 3장에서는 증착원리 및 특징을 4장에서는 PLD의 응용분야를 그리고 5장에서는 결론 및 향후 연구방향에 대하여 기술하였다.

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