초록
원자흡수분광법을 위한 글로우방전 분광 장치를 sputtering된 시료원자가 기저상태의 원자가 최대이며 여기 상태의 원자가 최소가 되는 지역을 측정하도록 설계 개발하였다. 빠른 속도의 가스 jet는 방전의 육안 및 전기적 변화 뿐만 아니라 시료표면의 변화에서 처럼 시료가 원자화되는 양을 현저히 증가시킨다. 가스 jet는 원자흡수분광법으로 시료를 직접할 수 있는 가능성을 보여주었다. 감도와 재현성에 영향을 끼치는 여러 가지 요인들에 관하여 연구하였다.
A new sputtering chamber, as Atomsource, for atomic absorption measurements was designed and built to have maximum ground state atoms in view and minimum emission. The high velocity gas jets not only change the visual and electrical characteristics of the discharge, but also increase the amount of material atomized, as is apparent from the craters that are produced in the sample where the jets strike the surface. The use of gas jets in a sputtering cell makes this a direct sampling method practical for atomic absorption spectrometry. The factors influencing absorption sensitivity and reproducibility have been investigated for the newly developed atomizer.