The Magazine of the IEIE (전자공학회지)

Volume 19 Issue 5
/
Pages.35-46
/
1992
/
1016-9288(pISSN)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)

권호 표지

Lithography 기술 현황 및 향후 전망

Jeon, Guk-Jin (Seoul National University) ;
O, Hye-Geun ;
Kim, Seong-Ju

전국진 (서울대학교) ;
오혜근 (한양대학교) ;
김성주 (금호석유화학(주) 연구소)

Published : 1992.05.01

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Abstract

Keywords