Ti 내부확산/양자교환(TIPE)방식에 의한 평면 광도파로 렌즈의 제작

Fabrication of a Optical Planar Waveguide Lens by Ti-Indiffused Proton-Exchange

본 논문에서는 Y-cut $LiNbO_3$ 기판 위에 TIPE 방식을 이용하여 평면 광도파로 렌즈를 제작하고 그 특성을 측정하였다. Ti 내부확산 평면광도파로 및 TIPE 평면 광도파로 제작하고, 프리즘 결합으로 굴절율을 측정하였다. 측정한 기본파 유효굴절율로부터 평면 광도파로 렌즈의 궤적을 구하여, 사진식각법과 lift-off기법을 이용하여 TIPE 평면 광도파로 렌즈를 제작하였다. 도파로를 따라 도파되던 광이 평면 광도파로 렌즈에 의하여 접속되는 현상을 관측하였고 측정한 결과와 컴퓨터 시뮬레이션의 결과가 잘 일치함을 알 수 있었다. 관측한 초점의 위치 및 크기가 설계한 값과 잘 일치하였다.

In this paper we report the fabrication of a planar optical wavehuide lens on a Y-cut LiNbO3 substrate by Ti_indiffusion and Ti-indiffused proton-exchange(TIPE). LiNbo3 planar waveguides are fabricated and refractive indices of the waveguides are fabricated and refractive indices of the waveguides are measured. Based on the measured indices, palanr waveguide lenses are designed and fabricated. The measured focal point and spot size of the fabricated lens are in good agreement with those of the designed lens.