Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 1 Issue 3
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- Pages.341-345
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- 1992
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- 1225-8822(pISSN)
Analysis Formula for the Collisional Atomic Mixing
충돌에 의한 원자혼합현상 의 해석적 모형
Abstract
충돌에 의한 원자혼합현상에 대한 해석적모형을 개발하였다. 이 식은 Sigmund와 GrasMarti의 식보다 더 현실적인 이온-원자 충돌변수들을 포함한다. 이 식에 의해서 계산된 경량원소에 대한 혼합효율은 Sigmund 식에 의해서 계산된 것과 동일한 결과를 나타낸다. 반면, 중량원소에 대한 계산은 약간의 차이를 나타낸다. 또 이 결과는 경량원소에 대한 dynamic Monte-Carlo 모의실험결과와 잘 일치하고 있는 반면, 중량원소에 대해서는 약간 의 차이를 나타내는데, 이는 이온 조사시의 sputtering과 기지원자 재배치에 기인한 것으로 추측된다.
Keywords