Analysis of Pumping Characteristics for Cryopump with Multipanel Cryoarray

다층 Panel Cryoarray를 갖는 Cryopump의 Pumping 특성해석

다층 panel형 cryoarray를 갖는 원통형 cryopump의 정적 pumping 특성을 view factor를 이용한 수치적 방법으로 해석하였다. 해석모델은 단순 원판을 기본으로 하고, 여기 에 상향 및 하향의 skirt를 부착한 실질적 array를 대상으로 하였으며, 형상, 크기 및 panel 개수를 변화시키면서 array 전체의 총 pumping 효율과 array 내의 pumping 속도 분포를 모두 구하였다. 다층 panel array에서도 single panel의 경우와 같이 type III 개스(He, H2) 에 있어서는 pumping 효율을 최대로 하는 최적의 크기가 있으며, panel 수효가 증가하면 pumping 속도는 약간만 증가하나 총 pumping 용량은 이에 비례하여 증가한다. Skirt의 각 도를 상향으로 변화시키면 type III 개스의 상대적 pumping 속도가 증가되며 type II 개스에 의한 cryosorbent의 오염도는 대략 10% 정도이다.