Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

The Initial Stages of the Oxidation of the CdTe surfaces

CdTe 표면의 산화과정의 초기단계

  • 김형도 (서울대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 오세정 (서울대학교 자연과학대학 물리학과)
  • Published : 1992.02.01
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Abstract

By means of X-ray photoelectron spectroscopy(XPS), the initial stages of the oxidation of the cleaved CdTe (110) surface and the sputtered CdTe surface with oxygen exposure are invetigated. From the analyses of the spectra of Te 3dsn, Cd 3d5/2, 0 ls and Cd MNN Auger lines, it is shown that two oxygen atoms bond to one Te atom at the initial stages.

X선 광전자 분광방법(XPS)에 의하여 CdTe의 절개된 (110) 표면과 스퍼터링된 표 면을 산소에 노출시키면서 CdTe 표면의 산화과정의 초기단계에 대하여 고찰하였다. Te 3d5/2, Cd 3d5/2, O 1s, Cd MNN 오제 스펙트럼 등의 분석으로부터 산화의 초기단계에서 산 소원자 두 개가 Te 원자 한 개에 결합하고 있음을 보았다.

Keywords