The characterization of ${In_2}{O_3}$ thin films prepared by activated reactive evaporation method

활성화 반응성 증착법에 의한 ${In_2}{O_3}$박막성장 및 특성

활성화 반응성 증착법으로 비저항 1.7*$10^{-3}$-8.0*$10^{-3}$ohm.cm, 전하운반자 농도 3.4*$10^{19}$-2.8*$10^{20}$$cm^{-3}$, 이동도 12-23$cm^{2}$/V.s, 금지대역 폭 3.35eV인 In/sib 2/ $O_{3}$박막을 KBr과 실리카 기판에 성장시켰다. 광투과율은 가시광선 영역에서 80% 이상을 나타냈으며 적외선 영역에서도 양호한 특성을 나타냈다. 박막성장시는 비정질 상태였으나 150.deg.C 이상에서 열처리했을 때 결정화현상이 관찰되었다.