ETRI Journal
- 제13권4호
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- Pages.10-24
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- 1991
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- 1225-6463(pISSN)
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- 2233-7326(eISSN)
절연막을 이용한 자기정렬 이중 리세스 공정에 의한 전력 MESFET 소자의 제작
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이종람
(한국전자통신연구원 화합물소자연구실) ;
- 윤광준 (한국전자통신연구원 화합물소자연구실) ;
- 맹성재 (한국전자통신연구원 화합물소자연구실) ;
- 이해권 (한국전자통신연구원 화합물소자연구실) ;
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김도진
(한국전자통신연구원 신소자구조연구실) ;
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강진영
(한국전자통신연구원 화합물소자연구실) ;
- 이용탁 (한국전자통신연구원 화합물반도체연구부)
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Lee, Jong-Ram
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- Yoon, Kwang-Joon ;
- Maeng, Sung-Jae ;
- Lee, Hae-Gwon ;
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Kim, Do-Jin
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Kang, Jin-Yeong
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- Lee, Yong-Tak
- 발행 : 1991.12.31
초록
본 연구에서는 기상 성장법 (VPE : vapor phase epitaxy) 으로 성장된
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