ETRI Journal

  • 제13권2호
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  • Pages.62-69
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  • 1991
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  • 1225-6463(pISSN)
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  • 2233-7326(eISSN)
한국전자통신연구원 (Electronics and Telecommunications Research Institute)
권호 표지

RTA에 의한 $As^+$ 이온주입된 비정질층의 재결정화 연구

  • 김상기 (한국전자통신연구원 물성분석연구실) ;
  • 곽병화 (한국전자통신연구원 물성분석연구실) ;
  • 이상환 (한국전자통신연구원 물성분석연구실) ;
  • 정성화 (한국전자통신연구원 물성분석연구실) ;
  • 권오준 (한국전자통신연구원 물성분석연구실)
  • 발행 : 1991.07.01
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