ETRI Journal

  • 제13권2호
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  • Pages.54-61
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  • 1991
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  • 1225-6463(pISSN)
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  • 2233-7326(eISSN)
한국전자통신연구원 (Electronics and Telecommunications Research Institute)
권호 표지

푸리에 변환 적외선 분광분석에 의한 에피층의 두께 측정 기술

  • 정성화 (한국전자통신연구원 물성분석연구실) ;
  • 김상기 (한국전자통신연구원 물성분석연구실) ;
  • 권오준 (한국전자통신연구원 물성분석연구실)
  • 발행 : 1991.07.01
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초록

에피택시층의 두께는 푸리에변환적외선분광분석(FTIR)을 이용하여 간단하고 비파괴적으로 측정할 수 있음이 알려져 있다. 본고에서는 측정법의 기본적인 배경을 살펴보고 실제 시편의 측정결과를 제시하며 본 두께 측정법의 적용 가능성 및 문제점에 대해 논의한다.

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