On Atmospheres for Firing the Thick Film Coper Conductors

Thick Film Copper Conductor 의 소결과 소성 분위기

Thick film copper conductors are of considerable interest in thick film industries because of both the potential cost saving compared to the noble metal conductors and the favorable properties in electrical conductivity, solderability, solder leach resistance and wire bondability, However, formation of the excellent copper thick film is a lot complicated due to easily oxidizing property of copper at high temperature. In order to get favorable thick film copper conductor, hybrid microcircuit industry utilizes majorly three kinds of firing atmosphere, such as nitrogen atmosphere, reactive atmosphere and air atmosphere. The processes and the three atmospheres for firing thick film copper conductor were extensively reviewed in this article.

후막 구리도체는 귀금속계 도체에 비하여 가격이 저렴하고 전기전도도, 납땜성, 땜납 침식저항, 와이어 본딩성등의 양호한 성질 때문에 매우 중요성을 갖는다. 그러나 우수한 후막 구리도체를 형성하는 것은 구리가 높은 온도에서 쉽게 산화하는 성질로 인해 상당히 복잡하다. 양호한 구리후막을 얻기 위하여 하이브리드 마이크로회로업계는 질소분위기, 반응성분위기 또는 공기분위기를 사용한다. 이 글에서는 후막 구리도체의 소성공정과 세종류의 소성분위기에 대하여 종합적으로 고찰하였다.