초록
헬륨 기체를 사용하여 중급 출력(500W) 마이크로파 유도 플라즈마(Microwave Induced Plasma:MIP)를 헬륨 기체를 사용하여 만든 뒤 직접 수용액 시료 분석에 사용하였다. Beenakker의 cavity를 변형시켜 얻은 안정된 헬륨 플라즈마는 실린더 형태의 모양을 하고 있고 기체의 흐름량을 조절하여 "toroidal"형태의 플라즈마도 얻을 수 있으나 분석학적 능력은 오히려 감소되었다. Glass Frit Nebuliser를 이용하여 분석하였을 때 금속 원소는 10~100 ppb 근처의 검출한계를 보였고 비금속원소인 염소의 경우는 50ppm근처의 검출한계를 보였다.
The moderate power (500 W) Microwave Induced Plasma was generated with helium gas and was used for the direct analysis of aqueous samples. Usually, the helium plasma obtained with a modified Beenakker type cavity forms a cylindrical one. Though, by the careful controls of gas flows, a "toroidal" shape plasma could be made but its analytical performances were found to be worse. Using the glass frit nebuliser, the detection limits for metal ions obtained were around 10~100 ppb and that for chloride was about 50ppm.