Electrical & Electronic Materials (E2M - 전기 전자와 첨단 소재)
- Volume 4 Issue 4
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- Pages.304-311
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- 1991
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
A study on silicidation and properties of titanium film on polysilicon by rapid thermal annealing
다결정 실리콘 위에서의 titanium silicide 형성과 그 특성
Abstract
본 연구에서는 p형(100) 실리콘 기판 위에 LPCVD법으로 산화막과 다결정 실리콘을 증착하고 그 위에 Magnetron Sputtering법으로 티타늄을 500.angs.을 증착한 후, 열처리 온도 500-900.deg.C 사이에서 열처리 시간을 변화시키면서 N
Keywords