Abstract
High temperature superconducting films of $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ were fabricated on the (100) single crystal faces of YSZ (yttria stabilized zirconia) and SrTi$O_3$ by aerosol spray using ultrasonic atomization. The superconducting phase was formed by a three-step process: (a) spraying of a stoichiometric solution of nitrates of yttrium, barium, and copper on heated substrates kept at 250$^{\circ}C$, (b) preheating of the sprayed films in air at 550$^{\circ}C$, and (e) sintering of the films in flowing oxygen at 950$^{\circ}C$, followed by furnace cooling. Resistances of the films were measured by the dc four-probe method and superconductivity was confirmed above the liquid nitrogen temperature.
$YBa_2Cu_3O_{7-x}$ 초전도 필름을 초음파에 의한 aerosol spray 법을 이용하여 YSZ (yttria stabilized zirconia) 및 SrTi$O_3$의 (100) 결정면 위에 만들었다. 초전도상은 세 단계의 과정을 거쳐서 형성되었다 : (가) 이트륨, 바륨, 구리의 질산염을 화학 양론비로 섞어 만든 용액을 250$^{\circ}C$로 가열된 기질에 분무하여, (나) 형성된 필름을 공기 중에서 550$^{\circ}C$로 예열하고, (다) 흐르는 산소 분위기에서 950$^{\circ}C$로 소결한 뒤 노냉하였다. 필름의 저하을 dc four-point probe 법으로 측정하여 액체질소 온도 이상에서 초전도성을 확인하였다.
