E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제3권4호
- /
- Pages.271-278
- /
- 1990
- /
- 2982-6268(pISSN)
- /
- 2982-6306(eISSN)
적층형 압전 액튜에이터의 제조 및 압전특성
Processing parameter and piezoelectric properties of multilayted piezoelectric actuator
초록
본 논문에서는 내부전극 Pt를 갖는 적층형 압전액튜에이터의 제조와 적층수에 따른 압전액튜에이터 압전특성에 대해 조사 연구하였다. 먼저, Dr.blade방법을 사용하여 두께 ~220.mu.m의 PZT green sheet를 제작하였다. green sheet의 밀도는 결합제 양과 외부압력에 대해 크게 의존하였으며 소결체의 밀도는 green sheet의 밀도가 커질수록 더 높게 나타났다. 다음에는 적층수에 따른 압전정수의 변화에 대한 것으로써 압전정수(d
키워드