대한전기학회논문지 (The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers)
- 제39권7호
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- Pages.692-701
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- 1990
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- 0254-4172(pISSN)
LPCVD을 사용하여 $WF_6$ 의 교번적 수소환원 반응에 의한 새로운 선택적 텅스텐 박막 증착
New Selective Tungsten Deposition Process by the alternating Cyclic Hydrogen Reduction of $WF_6$ using LPCVD
- 발행 : 1990.07.01