ETRI Journal
- Volume 11 Issue 2
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- Pages.100-108
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- 1989
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- 1225-6463(pISSN)
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- 2233-7326(eISSN)
ECR 플라즈마 반응로의 설계변수 분석
Abstract
본 연구에서는 초고집적 반도체소자의 제작을 위해 기존 건식 식각장비를 미래의 유명한 식각장비로서 부각될 ECR(Electron Cyclotron Resonance)형 플라즈마 식각기로의 구조 및 성능 개선을 위해 플라즈마 발생실, 이를 둘러싸는 자기장 형성코일, 그리고 공정반응실의 주요한 설계변수를 추출하여 이론적 계산에 의해 최적화함으로써, 차후 prototype ECR 건식 식각장치를 제작하기 위한 기반기술을 구축하였다.
Keywords