Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics (대한전자공학회논문지)
- Volume 26 Issue 7
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- Pages.58-72
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- 1989
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- 1016-135X(pISSN)
RTA Development to Minimize SLIP and Process Power Consumption
SLIP 현상 및 공정소모 POWER를 최소화하기 위한 RTA 제작
- Kwon, Kyung-Sup (Dept. of Elec. Eng., Jungang Univ.) ;
- Jang, Hyun-Ryong (Dept. of Elec. Eng., Jungang Univ.) ;
- Hwang, Ho-Jung (Dept. of Elec. Eng., Jungang Univ.)
- Published : 1989.07.01
Abstract
Rapid thermal annealing system using tungsten halogen lamps and reflectors was developed to get 2 slips per
본 연구에서는 텅스텐 할로겐 램프를 사용한 RTA(or RTP) 장치를 제작하여 웨이퍼 가장자리와 내부사이의 서로 다른 반사계수를 갖는 반사판을 사용하여
Keywords