The Magazine of the Society of Air-Conditioning and Refrigerating Engineers of Korea (대한설비공학회지:설비저널)
- Volume 18 Issue 2
- /
- Pages.130-137
- /
- 1989
- /
- 1229-6430(pISSN)
Developement of Class 1 Clean Room Devices
CLASS 1 초청정장치 개발
Abstract
본 논문은 1. 초청정기술의 현황, 2. 초청정장치의 요소기술, 3. 초청정장치의 개요, 4. 국부청정실의 기본계획에 대해 기술하고 있다. 1. 초청정기술의 현황에서는, 본 연구수행의 방향설정을 위해 미국과 일본의 관련 학
Keywords