ETRI Journal

  • 제10권3호
  • /
  • Pages.221-229
  • /
  • 1988
  • /
  • 1225-6463(pISSN)
  • /
  • 2233-7326(eISSN)
한국전자통신연구원 (Electronics and Telecommunications Research Institute)
권호 표지

분광 엘립소메츠리에 의한 반도체소재의 특성분석

  • 발행 : 1988.10.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

반도체 소자의 성능과 신뢰성은 소자제조시 사용한 소재의 특성에 의존하므로 소재의 특성을 정확히 규명하는 일은 대단히 중요하다. 소재 특성화 방법중 분광 엘립소메츠리에 의한 기본소재 및 유전체 박막의 광학적 성질을 비접촉, 비파괴적, in-situ 상태에서 결정할 수 있다. 본 고에서는 소재의 광학적 특성화를 위해 분광 엘립소메츠리의 기본원리 및 측정방법, 반도체 소재 특성화의 응용 등에 대해 상세히 논의하였다.

키워드