ETRI Journal
- Volume 10 Issue 2
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- Pages.63-69
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- 1988
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- 1225-6463(pISSN)
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- 2233-7326(eISSN)
Local Thermal Equilibrium 모델에 의한 이차이온 질량분석의 정량화 방법
Abstract
SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry) 분석 데이터의 정량화 방법으로 이온주입에 의한 실험적 접근법과 LTE(Local Thermal Equilibrium) 모델을 사용한 준이론적 접근법 2가지가 주로 논의되고 있다. 본 고에서는 LTE 모델을 사용, SIMS data를 정량화하는 방법에 대하여 기술하였으며 아울러 BASIC language로 된 간단한 LTE 프로그램을 제시하였다.
Keywords