A study on the measurement of SAW velocity on piezoelectric ceramics

압전 세라믹의 탄성 표면파 속도 측정에 관한 연구

  • 위규진 (연세대학교 전기공학과) ;
  • 강진규 (연세대학교 전기공학과) ;
  • 강원구 (연세대학교 전기공학과) ;
  • 박창엽 (연세대학교 전기공학과)
  • Published : 1987.12.01

Abstract

In this paper, the measurement of SAW velocity on piezoelectric ceramic is studied. It can be done by using oscilloscope and pulse generator, and measure the velocity especially when feed-through is appeared. The propagating distance was exactly calculated considering that IDT responses are obtained by convolution theory, therefore the velocity was measured by the above simple method. As the results, the measurement velocity at room temperature was 3480 m/sec for $YZ-LiNbO_3$ single crystal and 2770 m/sec for a family of $PbTiO_3$ceramics with feed-through signal.

본 연구에서는 압전 세라믹에서 탄성 표면파의 속도 측정에 대한 실험 방법을 제시한다. Oscilloscope와 Pulse Generator만으로 실시할 수 있으며 특히 feed-through에 의한 신호가 있는 경우에도 측정 가능한 방법이다. IDT응답이 Convolution 이론에 따르는 것에 주목하여 파가 진행한 거리를 정확히 산출하여 속도를 구할 수 있었다. 본 연구의 방법으로 측정한 결과 상온에서 $YZ-LiNbO_3$에 대하여 3,480m/sec를 구할 수 있었으며 feed-through가 큰 $PbTiO_3$계 압전 세라믹에 대해서는 2,770m/sec를 측정하였다.

Keywords