표면분석 기술의 반도체 응용(I)

반도체 공정 기술에 있어서 재료 및 표면분석의 역할에 대하여 고찰하였다. 최근에 개발된 신 분석기술을 포함한 일반적인 분석 방법에 대하여 그 측정원리 및 특징을 언급하고 반도체 단위공정별로 표면 분석기술이 이용되는 분야를 조사하였다. 그리고 앞으로 반도체 기술발전을 위한 표면분석의 역할을 논하였다.