태양에너지 (Solar Energy)
- 제6권1호
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- Pages.12-23
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- 1986
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- 0253-3103(pISSN)
PECVD a-$SiN_x$ :H 박막(薄膜)의 특성(特性)과 열적안정성(熱的安定性)
Properties and Thermal Stability of PECVD a-$SiN_x$ :H Films.
초록
The PECVD
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