전기의세계

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Si-$SiO_2$계의 문제점과 연구동향

  • Published : 1985.06.01
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Abstract

Si-SiO$_{2}$계 및 다중막계의 개황과 문제점을 들어 개설하였으나 대부분의 경우 종해 생각하고 있던 모델들이 차츰 실증되어가는 단계에 있다. 그러나 이들 계는 원자적인 척도에서는 완전한 연적체라고 볼수 없고 여러 결함이 개재되어 있으므로 금후에도 술시적인 견지에서 이들의 결함구조와 각계면구조를 명확히 해 나갈 노력이 필요하다.

Keywords