레이저에 의한 어니이링

레이저어니이링법은 이온주입층의 어니이링뿐만 아니라 단결정기반위의 증착막의 에피택셜 성장, 비정질기반위에 단결정Si 막의 형성, 오옴믹전극이나 금속실리사이트의 형성 등 레어저어니이링법의 장점을 이용한 여러가지 재료처리기술이 연구되어 흥미있는 결과가 얻어지고 있다. 예를 들면 비정질상의 단결정Si의 형성은 값이 싼 태양전지와 삼차원집적화 디바이스를 실현하는 것으로서 주목을 받고 있다. 또한 냉각속도가 지금까지 사용된 여러가지 급냉법보다 큰 점을 이용하여 준안전상합금등의 새로운 재료의 합성이 시행되고 있다. 본고에서는 레이저어니이링의 기구, 특징 및 여러가지 응용예를 중심으로 하여 서술한다.