Fabrication of Semiconductor Gas Sensors and their Electrical Characteristics

반도체 가스 검지소자의 제조 및 그의 전기적 특성

Three types of SnO2 based semiconductor gas sensors sensitive to propane, alcohol, carbon monoidxe and acetone have been fabricated. Adding about 0.3wt.% PdCl2 or SrCO3 to SnO2 improved the sentivity. The devices were tired for one hour in air in the temperarure range of $600^{\circ}C$ to 1, 00$0^{\circ}C$. An electrical warning system using the fabricated sensors is suggested.

SnO2를 모물질로 한 반도체 가스 검지소자를 제조하고 고 전기적 특성을 조사하였다. 제조된 소자는 프로판가스, 일산화탄소, 알콜 및 아세톤 가스등에 대해 우수한 감도특성을 가졌으며 특히 프로판가스에 대해 가장 민감한 반응을 보였다. SnO2에 PdCl2또는 SnO2를 약 0.3 wt.% 정도 침첨가 했을때 가스에 대한 감도는 순수한 SnO2의 경우보다 향상되었다. 전기전도도 대 가스농도의 특성은 소자 소성온도, 소자 온도 및 소자 재료 반죽시 사용된 용액의 농도에 따라 변화하였다.